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Trifluorure d’azote (format Secten)

Evolution des émissions de NF3 de 1990 à 2017 pour la France métropolitaine (en kt CO2e)

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Tendance générale

En France, le NF3 est intégralement utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. La totalité des émissions de NF3 est donc attribuée à l’industrie manufacturière.

Sur la période 1990-2017, les émissions de NF3 présentent des variations interannuelles relativement importantes avec des pics comme en 2008 où le maximum est atteint. Cette variation constatée est liée :

  • d’une part, aux fluctuations annuelles des quantités de NF3 achetées et utilisées par les différentes usines pour la gravure des microprocesseurs et le nettoyage des chambres CVD (Chemical Vapour Deposition) ;
  • d’autre part, à la mise en place de techniques de réduction des émissions et à l’amélioration de leur rendement.

Jusqu’en 1994, aucune technologie de contrôle des émissions (par destruction ou captage/récupération) n’était présente dans les différentes usines, expliquant une augmentation progressive des émissions proportionnelle au niveau des consommations.

A partir de 1995, des technologies de réduction ont été mises en place progressivement sur certains sites, expliquant la diminution des émissions cette même année. Parallèlement, les consommations de NF3 n’ont cessé d’augmenter jusqu’en 2008, année du pic d’émissions de NF3 en France. Les variations observées d’une année à l’autre sur les émissions proviennent des quantités de NF3 consommées et de l’efficacité des techniques de réduction mises en place au sein des sites de production. Ainsi, un site industriel présentant une efficacité de traitement élevée aura pour effet de diminuer les émissions de NF3. Les variations des émissions sur cette période proviennent donc des variations de consommations de NF3 au sein des différents sites de production en France et pouvant eux-mêmes présenter des procédés de traitement différent.

Les émissions de NF3 ont fortement diminué depuis 2012 avec la mise en place d’un procédé de traitement en sortie des équipements sur un site de fabrication et la fermeture d’un autre site.

Évolution récente

Ces dernières années, du fait de la généralisation de l’usage des techniques de réduction, les émissions de NF3 ont un niveau similaire à celui de 1995, historiquement le plus bas, alors que l’industrie des semi-conducteurs a des consommations beaucoup plus importantes que dans les années 90. Depuis 2014, les émissions évoluent peu et semblent se situer à un niveau asymptotique en-dessous duquel il sera difficile d’aller, excepté par une baisse importante de la consommation de NF3 dans les procédés. A noter que les gaz fluorés utilisés dans l’industrie de la fabrication de semi-conducteurs ne sont pas à concernés par la restriction de mise sur le marché de gaz fluorés exigée par le règlement (EU) n° 517/2014 et qu’il n’y a, par conséquent, pas de raison apparente que les émissions diminuent dans les prochaines années.

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